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半自动撕膜机:
晶圆尺寸:6”、8”;厚度 200~750um;
晶圆种类:硅,坤化镓或其他材料;
撕膜胶种类: 胶带撕膜;宽度:38-100 毫米;长度:100 米;
撕膜角度:<45 度,并且在 5°~45°可调节;
撕膜温度:室温到 100 ℃范围可调,控温精度:+/-5℃;
晶圆台盘:通用防静电特氟隆涂层接触式金属台盘; 带可控加热功能,温度最高可达 100℃;
台盘带吸真空功能;
装卸方式: 晶圆手动放置与取出
电话:021-64896449
电话:林先生13370081160
地址:上海市闵行区瓶安路1259号1、3、5号楼