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全自动贴膜机；晶圆尺寸：6、8寸， 晶圆厚度： 100~750um
晶圆种类： 硅、砷化镓或其他材料
胶膜种类：蓝膜或UV膜
上下料方式：输入料盒输出料盒
晶圆台盘：特氟隆防静电涂层接触式台盘；
贴膜原理：防静电滚轮贴膜
晶圆台盘温度： 室温~100°（可选）
贴膜精度： X-Y±0.25mm，θ±0.5°
校对准：X-Y-θ偏移补偿，非接触光束传感器
电话：021-64896449
电话：林先生13370081160
地址：上海市闵行区瓶安路1259号1、3、5号楼
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